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SM5651/SM5652壓阻式壓力傳感器
SM5651/SM5652為OEM壓力傳感器，完全校準和溫度補償微差壓雙列直插高性能壓力傳感器。
     SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩定壓阻式壓力傳感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜電阻進行零度校正、零點溫度補償和靈敏度溫度補償。SM5651只能用恒流驅動，一個額外的電阻修剪正?；耐獠坎罘址糯笃鞯妮敵鎏峁┝丝缍刃?。而SM5652在恒壓激勵下對輸出信號很容易進行放大。 
 SM5651芯片有額外的增益電阻，采用恒流激勵，SM5652采用恒壓激勵。
特點                               應用 
? 微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi
? 恒流或恒壓激勵
? 溫度補償范圍寬（0-60℃）
? 跨度校準正高達±2%
? 零點校準及溫度補償
? 高性能、穩定的硅芯片封裝
? 表壓和差壓配置
? 醫療設備
? 呼吸機、麻醉機和監護儀
? HVAC（空調）
? 水平監測
? 流量測量
? 工業控制
? 微差壓變送器
性能參數
測試的條件是：SM5651激勵電流源為1.5mA，室溫為25℃；SM5652激勵電壓源為10.00V DC，室溫25℃，除非另有規定。
最小值 典型值 最大值 單位
激勵源
激勵電壓源 DC（SM5652） >0 10.00 20.00 V
激勵電流源 DC（SM5651） >0 1.50 3.00 mA
滿量程輸出 
SM5651滿量程輸出 25.0 45.0 75.0 mV
SM5652滿量程輸出 24.5 25.0 25.5 mV
零點輸出 -2.00 +0.20 2.00 mV
溫度系數
滿量程溫度系數 -0.65 +0.20 0.65 %FS
零點溫度系數 -1.00 +0.20 1.00 %FS
溫度遲滯性 -0.30 +0.05 0.30 %FS
準確度
線性度（非線性誤差） -0.30 +0.05 +0.30 %FS
重復性 -0.30 +0.05 +0.30 %FS
壓力遲滯性 -0.30 +0.05 +0.30 %FS
靈敏度匹配性 -2.0 -0.2 +2.0 %FS
阻抗（SM5651）
輸入阻抗 1.80 3.00 3.80 kΩ
輸出阻抗 2.70 3.30 3.80 kΩ
阻抗（SM5652）
輸入阻抗 4.50 8.00 25.00 kΩ
輸出阻抗 2.00 2.50 3.80 kΩ
溫度范圍
補償溫度 +0 +60 ℃
工作溫度 -40 +125 ℃
存儲溫度 -40 +125 ℃
動力特性
耐壓 10ⅹ Rated FS
爆破壓力 15ⅹ Rated FS
備注：
1、正壓指的是從晶圓底部進入；增益，在工廠校準使用的是負壓
2、對于SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(最小)至26.25（最大）
3、測量溫度超過22~58℃
        對于量程為0.15psi，滿量程溫度系數為±2%FS；零點溫度系數為±2%FS；對于量程為0.3psi，滿量程溫度系數為±0.75%FS
4、對于量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對于量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、最佳直線擬合，是從晶圓頂部測量的
        對于量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對于量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對于量程為0.15psi，靈敏度匹配性為5.0%FS